GB/T 36401-2018
表面化学分析 X射线光电子能谱 薄膜分析结果的报告

Surface chemical analysis.X-ray photoelectron spectroscopy.Reporting of results of thin-film analysis


 

 

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标准号
GB/T 36401-2018
发布日期
2018-06-07
实施日期
2019-05-01
废止日期
中国标准分类号
G04
国际标准分类号
71.040.40
发布单位
CN-GB
引用标准
ISO 18115-1-2010
适用范围
本标准给出了采用XPS对基材上薄膜的分析报告所需的最少信息量要求的说明。这些分析涉及化学组成和均匀薄膜厚度的测量,以及采用变角XPS、XPS溅射深度剖析、峰形分析和可变光子能量XPS的方式对非均匀薄膜作为深度函数的化学组成的测量。




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